第5.2.2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

　　Q=q1·Σ(q·L) 　　　　　(5.2.2)

　　式中：Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时);

　　a--根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2;

　　q--当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米);

　　L--围扩结构的缝隙长度(米)。

　　第5.2.3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。

　　压差(Pa) 门　窗　形　式

　　非密闭门 密闭门 单层固定密闭木窗 单层固定密闭钢窗 单层开启式密闭钢窗 传递窗 壁板

　　漏风量(米3/时·米)

　　4.9 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3

　　9.8 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6

　　14.7 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8

　　19.6 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0

　　24.5 40 10 2.8 1.7 8.0 5.5 1.2

　　29.4 44 11 3.0 1.9 8.5 6.0 1.4

　　34.3 48 12 3.5 2.1 9.0 7.0 1.5

　　39.2 52 13 3.8 2.3 10.0 7.5 1.7

　　44.1 55 15 4.0 2.5 10.5 8.0 1.9

　　49.0 60 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0

　　第5.2.4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。

　　第5.2.5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。

　　第三节　气流组组织和送风量

　　第5.3.1 气流组织的选择，应符合下列要求：

　　一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求，并应使洁净工作区气流流向单一。

　　二、回风口宜均匀布置在洁净室下部。

　　三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。

　　第5.3.2条洁净室的气流组织和送风量，宜按表5.3.2选用。

　　第5.3.3条乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值;

　　一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量。

　　二、按表5.3.2规定的送风量。

　　三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量。

　　四、按空气平衡所需要的送风量。

　　第5.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应

　　使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5.3.4-1、5.3.4-2。

　　第5.3.5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台;乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。

　　第5.3.6条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。

　　第四节　空气净化处理

　　第5.4.1条各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。

　　注1：100，000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。

　　第5.4.2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

　　第5.4.3条净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。

　　第5.4.4条净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。

　　第5.4.5条空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合下列要求：

　　一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。

　　二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段。

　　三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端。